产品用途：

该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片等的扩散源。

产品信息：

化学式： POCl₃   

分子量：153.33（按2007年国际相对原子质量）

CAS号码：10025-87-3

UN危险货物编号：UN1810

运输危险类别：6.1/8

质量指标：

外观：无色透明液体。

电子级三氯氧磷技术指标应符合表1的要求

表1 电子级三氯氧磷杂质极限要求

安全防护

避免产品直接接触皮肤和眼睛。工作现场禁止吸烟、进食和饮水。如不慎吸入其气体，请立即将患者移至新鲜空气处并立刻就医。如果不慎接触眼睛或皮肤，立刻就医。

包装储存

容器：高纯石英源瓶、镀膜高纯石英源瓶

外包装：容器外套厚质PVC塑料袋；PE专用箱内置海绵缓冲垫

规格：500ml、1000ml、1500ml，也可根据客户的要求进行包装

储存：本三氯氧磷要求储存在石英瓶中，不准堆放；并按规定做好标识。